炬光科技(688167.SH)：公司的光场匀化器产品供应给国内主要光刻机制造商

摘要： 来源：格隆汇格隆汇7月17日丨有投资者向炬光科技(688167.SH)提问，“公司与国内哪些研究院有研发合作光刻机？当前研发出的样机能开展14nm、28nm和8nm的芯片烧蚀吗？...

来源：格隆汇

格隆汇7月17日丨有投资者向炬光科技(688167.SH)提问，“公司与国内哪些研究院有研发合作光刻机？当前研发出的样机能开展14nm、28nm和8nm的芯片烧蚀吗？荷兰阿斯麦禁售高端光刻领域产品和技术，作为阿斯麦的间接供应商，炬光科技将有哪些动作，支持国家集成电路产业的发展，实现高精尖设备的自主可控？”

炬光科技回复称，公司的光场匀化器产品供应给国内主要光刻机制造商，产品已应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。具体客户情况请以公司公开披露的信息为准。在半导体集成电路领域，公司已经有多项产品和技术服务于国内集成电路设备商，包括用于28nm制程及以下逻辑芯片的激光退火系统、用于DUV光刻机的光场匀化器、用于后道封装制程领域的激光辅助键合激光系统等。